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锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料，锗单晶的生长广泛采用的是CZ（直拉）法，其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等。
双段式加热锗单晶生长设备的结构设计
【摘 要】
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锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料，锗单晶的生长广泛采用的是CZ（直拉）法，其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装
【机 构】
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西安理工大学工厂
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年2期
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