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脉冲高能量密度等离子体是一项全新的等离子体材料表面处理和薄膜制备技术.文章主要介绍了作者近几年来在这方面的研究成果.从理论和试验上研究了脉冲高能量密度等离子体的产生机制及其物理性质.研究了脉冲等离子体与材料相互作用的基本物理现象和物理机制.诊断测量表明,脉冲等离子体具有电子温度高(10-100eV)、等离子体密度高(1014-1016cm-3)、定向速度高(～107cm/s)、功率大(104W/cm2)等特点.在制备薄膜时具有沉积速率高,薄膜与基底粘结力强,并兼有激光表面处理、电子束处理、冲击波轰击、离子