基体硬度对氮化钛沉积表面复合硬度的影响

来源 :哈尔滨科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:harryxu200x
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本文研究了基体硬度、沉积氮化钛薄膜硬度和薄膜厚度对表面硬度的影响,通过不同的氮化钛沉积工艺,建立基体硬度、薄膜硬度、薄膜厚度与氮化钛沉积表面复合硬度之间的关系.
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