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基体硬度对氮化钛沉积表面复合硬度的影响
本文研究了基体硬度、沉积氮化钛薄膜硬度和薄膜厚度对表面硬度的影响,通过不同的氮化钛沉积工艺,建立基体硬度、薄膜硬度、薄膜厚......
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