切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
浅论气体压强对金刚石薄膜质量的影响
浅论气体压强对金刚石薄膜质量的影响
来源 :中国新技术新产品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yhmlivefor46
【摘 要】
:
以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜。研究了不同压强对金刚石薄膜质量的影响。结果表明当气氛压强为9KPa时可获得高质量的金刚石薄
【作 者】
:
孙鑫
丁喜峰
王文静
【机 构】
:
燕山大学理学院实验中心,燕山大学理学院应用物理系
【出 处】
:
中国新技术新产品
【发表日期】
:
2013年12期
【关键词】
:
金刚石(薄膜)
MPCVD
气体压强
RAMAN光谱
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜。研究了不同压强对金刚石薄膜质量的影响。结果表明当气氛压强为9KPa时可获得高质量的金刚石薄膜。
其他文献
浅析混凝土膨胀剂新规定
由于经济高速发展,各项工艺技术以及与之对应的内容体系也出现了全面的改变。就拿混凝土膨胀剂来讲,其标准就发生了很多的变化。很显然在这个时期,以往的标准内容已经无法有效地
期刊
混凝土
膨胀剂
新规
浅析新能源汽车产业的市场竞争力
随着经济的不断发展和社会的不断进步,人们对于能源方面的使用越来越趋向于新型的能源。在使用新能源的方面,汽车行业也在不断的进行探索,汽车业的新能源主要是指燃料动力方
期刊
新能源
汽车产业
市场竞争力
二维严格凸域上介值定理的一个证明
利用拓扑度的同伦不变性,证明了二维严格凸域上的介值定理。
期刊
介值定理
拓扑度
同伦不变性
大学英语阅读教学探讨
大学英语阅读教学是英语语言学习过程中的重要环节之一。从扩大词汇量、掌握必要的语法知识和背景知识,提高阅读技巧入手,对英语阅读教学进行了探索,旨在使学生达到真正理解、掌
期刊
阅读教学
高校
英语教学
教学目的
提高工程造价控制水平的思路探讨
工程建设中投资失控,“三超”现象普遍,这不仅使投资回报率降低,投资方的利益受到损害,对工程质量和施工安全也会产生负面影响,因此工程造价控制问题应引起足够的重视。本文对工程
期刊
工程造价
控制
分析
白云山总厂 成功仿制“达菲”注册为“福泰”
治疗流感和禽流感的特效药达菲(磷酸奥司他韦胶囊),近日在广州白云山制药总厂仿制成功,并首批试产了样品数百盒。据悉,这是国内第一个正式仿制成功的达菲,其注册商标为“福泰”。
期刊
广州白云山制药总厂
注册商标
达菲
仿制
奥司他韦胶囊
禽流感
特效药
浅析水利工程施工质量的因素及控制措施
随着水利工程建设数量的不断增加,如何保证其施工中的质量,确保水利工程得以正常发挥其功能成为当前人们关注的重点问题。文中从水利工程建设质量控制的重要性入手,分析了影
期刊
水利工程
质量
重要性
因素
公路信息化网络的安全与防范
公路信息化是指运用现代化的高新技术,将各类公路信息从采集、处理到提供服务加以系统化,共享其资源,为最佳营运与管理公路交通、发展智能公路系统和新产业,发展经济,推动城
期刊
网络信息安全
黑客入侵
防范管理
头孢克肟淋病首选
期刊
淋病
药物疗法
头孢克肟
浅析智能建筑中防盗报警系统的设计
随着人们对于居住环境要求的越来越高,防盗报警系统作为现代智能建筑设计中比较关键的一环,发挥了越来越重要的地位。本文通过分析和设计智能建筑中防盗系统的设计原理,及时发现
期刊
智能建筑
防盗报警系统
设计
与本文相关的学术论文