【摘 要】
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超精密加工技术是高端制造领域的一项关键技术,而超精密加工机床装备则是超精密加工技术的重要载体。通过系统总结超精密加工机床的发展现状,重点介绍典型结构的超精密加工机床,从加工精度和加工性能的角度对上述几类超精密加工机床进行比较分析,并对超精密加工的发展趋势进行预测。
【基金项目】
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国家自然科学基金(51375156);
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超精密加工技术是高端制造领域的一项关键技术,而超精密加工机床装备则是超精密加工技术的重要载体。通过系统总结超精密加工机床的发展现状,重点介绍典型结构的超精密加工机床,从加工精度和加工性能的角度对上述几类超精密加工机床进行比较分析,并对超精密加工的发展趋势进行预测。
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