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金刚石刀具切削加工光学表面时,工件表面粗糙度与刀具表面粗糙度密切相关.利用垂直扫描白光干涉法,获得了金刚石刀具前、后刀面粗糙度的测量图像并分析了测量结果,实现了金刚石刀具表面粗糙度亚纳米级精度的快速、高重复性测量.通过比较,光学轮廓仪与AFM对超光滑表面粗糙度测量的结果具有很好的相关性.
基于垂直扫描白光干涉法的金刚石刀具表面粗糙度测量
【摘 要】
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金刚石刀具切削加工光学表面时,工件表面粗糙度与刀具表面粗糙度密切相关.利用垂直扫描白光干涉法,获得了金刚石刀具前、后刀面粗糙度的测量图像并分析了测量结果,实现了金刚
【机 构】
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复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2014年6期
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