【摘 要】
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对光开关的类型、特性及研究现状进行了讨论,并重点对MEMS光开关及其工艺技术进行了分析,指出MEMS是未来光开关技术的一个重要发展方向。
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对光开关的类型、特性及研究现状进行了讨论,并重点对MEMS光开关及其工艺技术进行了分析,指出MEMS是未来光开关技术的一个重要发展方向。
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