【摘 要】
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采用射频磁控溅射法在柔性基体聚对苯二甲酸乙二醇酯上制备了纳米TiO2-CeO2复合薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电镜和紫外-可见光谱仪研究了薄膜的物相结构、表面形貌和镀膜样
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采用射频磁控溅射法在柔性基体聚对苯二甲酸乙二醇酯上制备了纳米TiO2-CeO2复合薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电镜和紫外-可见光谱仪研究了薄膜的物相结构、表面形貌和镀膜样品的紫外-可见光透过率及光学能隙。结果表明：沉积态的薄膜为非晶态,经150℃退火处理12h后,转化为良好的晶态,薄膜中主要含有锐钛矿结构TiO2,未出现CeO2的特征峰。随退火时间的延长及CeO2含量的增加,复合薄膜表面的球形晶粒数量增多,尺寸增大,且复合薄膜的透光率增加,禁带宽度减小。特别是当CeO2质量分数为10%,退火处理时间为12
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