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SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长3C-SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器，并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传感器的特点、结构和制作方法。
SiC薄膜高温压力传感器
【摘 要】
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SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长3C-SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器，并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传感器
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所,宝鸡传感器研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年2期
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