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通过ｘ射线双晶衍射图形了ＳｉＧｅ／ＳｉＨＢＴ的电学特性与晶格结构的关系。
SiGe/Si异质结构的x射线双晶衍射
【摘 要】
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通过ｘ射线双晶衍射图形了ＳｉＧｅ／ＳｉＨＢＴ的电学特性与晶格结构的关系。
【机 构】
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北京工业大学电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家“8 6 3”,,北京市自然基金资助项目
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