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期刊论文
现代高纯水
现代高纯水
来源 :中国工程科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jedy2008
【摘 要】
:
论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求,研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法,该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素
【作 者】
:
闻瑞梅
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
中国工程科学
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
高纯水
总有机碳
细菌
ULSI
溶解氧
制备
质量
High purity water
Ultra large scale integrated circui
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论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求,研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法,该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素、溶解氧等;讨论了高纯水常用各种管材的污染,并列举了大量数据和应用实例。
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