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在充氧气的真空室内，用电子束蒸发ＮｉＯ粉末颗粒的方法分别以０．１和０．８ｎｍ／ｓ的沉积速率制备了氧化镍薄膜，并在不同的环境中对薄膜进行热处理。研究了薄膜结构和电致变以特性与沉积速率的关系，发现以较慢和较快速率沉积的薄膜分别具有ＮｉＯ晶粒的（２００）和（１１１）不同择优取向，前者致色范围较小，后者致色范围较大。还研究了热自理对薄膜的结构、动态致色范围、致色效率，以及红外光谱特性的影响，发现热处理对薄