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室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO（ZnO：Al）薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置，考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等工艺参数对薄膜微观结构和光电性能的影响。结果表明：AZO薄膜晶体结构为纯ZnO的六角纤锌矿结构。随着Al掺杂量增多，AZO薄膜导电性增加，透光率下降。在氧分率为8.2%，ZnO（40 nm）/Al（6 nm）三层膜条件下，得到电阻率为5.66×102 Ω