【摘 要】
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薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一 ,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法 .应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数 ,而已
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薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一 ,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法 .应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数 ,而已知的范德堡公式是隐函数 ,只见报道其显函数的近似表达式 ,精度低 ,未见到有精确的多项式拟合公式 .为此 ,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式 ,其精度可达到± 0 19% ,并给出该公式在实际薄层电阻测试中的应用
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