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DBR结构参数的X射线双晶衍射研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangya110

【摘 要】

：

利用X射线双晶衍射方法,测定了分布布拉格反射镜(DBR)的衍射回摆曲线,除了DBR主衍射峰("0"级衍射峰)外,还观察到"1"级和"2"级卫星峰."0"级双晶衍射峰的半高宽为12.36",衬底Ga

【作 者】

：

李林 李梅 钟景昌 赵英杰 王勇 苏伟 

【机 构】

：

长春理工大学

【出 处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

：

分布布拉格反射 X射线双晶衍射 回摆曲线 卫星峰 distributed Bragg reflector（DBR） X-ray double crystal d 

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利用X射线双晶衍射方法,测定了分布布拉格反射镜(DBR)的衍射回摆曲线,除了DBR主衍射峰("0"级衍射峰)外,还观察到"1"级和"2"级卫星峰."0"级双晶衍射峰的半高宽为12.36",衬底GaAs的衍射峰半高宽为11.57"."0"级衍射峰半高宽与衬底GaAs的衍射峰半高宽比较接近,表明晶格具有很高的完整性.由这些衍射峰之间的角距离,计算出了DBR的周期D及Al含量x值.X射线双晶衍

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