论文部分内容阅读
论述了层间介质（ILD）的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP（化学机械平坦化）工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。结合分析得出以SiO_2作为层间介质进行CMP的技术要求,工艺流程和设备结构需求。
层间介质(ILD)CMP工艺分析
【摘 要】
：
论述了层间介质（ILD）的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP（化学机械平坦化）工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2016年6期
其他文献
目的探讨可吸收肋骨钉与记忆合金接骨板内固定治疗多发性肋骨骨折的效果。方法选择2009年1月~2013年6月在台州市中心医院胸外科行手术内固定治疗的胸部外伤致多发性肋骨骨折
本实验以红葡萄酒、新鲜柠檬、吉利丁片与白砂糖为原料制作清凉解暑的柠檬红酒果冻,并对其中红葡萄酒量、柠檬汁量、吉利丁片量进行了相应的单因素试验,最终确定最佳口感的配
肿瘤是严重威胁人类健康的疾病。随着科学技术的飞速发展,肿瘤诊断与治疗相比以往得到了很大改观,然而其5年存活率仍然很低。癌症已经成为人类健康的头号杀手。近年来,随着药
高校创业教育的主功能是培养学生的创业精神、促进学生个性自由发展,创业教育的次功能是使学生在当下或日后的商业创业、社会公益性创业、岗位内创业等方面的表现更加活跃。
在这个互联网连接一切的时代,用真实准确的大数据说话是最有力的方式。移动出行平台的出现,革新了交通出行的方式,创造性的将交通工具和乘客之间以及交通工具之间都建立起了
传统村落是我国社会文化的最基层单元，自古以来一直是我们人类精神和物质家园的体现，其空间形态更是乡情、宗亲等民族情感的诠释，是我国传统文化重要的组成部分。但是，自从改革开
目的运用社会网络分析法研究社区静脉注射吸毒者(IDUs)交往的社会网络结构的动态特点。方法采用提名法,收集2014—2016年主动参与针具交换的IDUs和其帮助交换针具的其他吸毒
创业教育生态转型是生态文明教育实践形式的拓展,是生态思维方式在创业教育上的运用,它改变了人类创业活动的方式和方向,促进生态文明的发展。创业教育生态转型要求创业教育
知识协同作为企业知识管理的高级阶段已经引起了学者们的广泛关注,目前尚缺乏具有良好理论基础的测量模型和量表。在文献分析和企业访谈基础上,从企业和顾客间互动视角,界定
目的:探讨核素心肌显像在冠状动脉造影(CAG)正常伴心绞痛症状患者中的临床意义。方法:应用99Tcm-MIBI负荷/静息门控心肌灌注断层显像(MPT)分析上述患者显像特点。A组(心血管