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层间介质(ILD)CMP工艺分析
层间介质(ILD)CMP工艺分析
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:future_007_007_007
【摘 要】
:
论述了层间介质(ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP(化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项
【作 者】
:
詹阳
周国安
王东辉
杨元元
胡兴臣
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2016年6期
【关键词】
:
层间介质
平整度
抛光垫
修整器
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论述了层间介质(ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP(化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。结合分析得出以SiO_2作为层间介质进行CMP的技术要求,工艺流程和设备结构需求。
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