利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应

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在电子束印刷,聚焦离子束以及阴极射线管等电子及离子束器件中,束中各粒子之间存在相互作用,产生空间电荷效应。人们对电子及离子束器件中的空间电荷效应已经做了大量的研究。到目前为止,通常采用MonteCarlo法计算了粒子输运过程中的离散的空间电荷效应。
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