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期刊论文
利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应
利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应
来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shihaiquanhanhan
【摘 要】
:
在电子束印刷,聚焦离子束以及阴极射线管等电子及离子束器件中,束中各粒子之间存在相互作用,产生空间电荷效应。人们对电子及离子束器件中的空间电荷效应已经做了大量的研究。到
【作 者】
:
雷威
尹涵春
【机 构】
:
东南大学电子工程系
【出 处】
:
计算物理
【发表日期】
:
1997年6期
【关键词】
:
边缘效应
粒子传输
蒙特卡洛法
空间电荷效应
Monte Carlo methodbeam form regionedge effecteffeciency o
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在电子束印刷,聚焦离子束以及阴极射线管等电子及离子束器件中,束中各粒子之间存在相互作用,产生空间电荷效应。人们对电子及离子束器件中的空间电荷效应已经做了大量的研究。到目前为止,通常采用MonteCarlo法计算了粒子输运过程中的离散的空间电荷效应。
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