【摘 要】
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利用阴极电弧离子镀技术在316L不锈钢基体上制备了CrN薄膜。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、纳米压痕仪对CrN薄膜的形貌、成分和力学性能进行了表征。为了研究Si3N4
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利用阴极电弧离子镀技术在316L不锈钢基体上制备了CrN薄膜。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、纳米压痕仪对CrN薄膜的形貌、成分和力学性能进行了表征。为了研究Si3N4和52100钢对磨副材料对CrN薄膜和316L不锈钢干摩擦行为的影响,在2N、5N、8N三种载荷下,将CrN薄膜和316L不锈钢基体与Si3N4陶瓷球和52100钢球分别进行了往复式滑动干摩擦实验。采用扫描电子显微镜观察了磨痕的微观形貌,并对CrN薄膜和316L不锈钢基体的磨损机制进行了分析。结果表明：CrN薄膜表面平
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