【摘 要】
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利用量子化学的密度泛函理论(DFT),对AlN的MOCVD生长中表面反应前体AlCH3(简称MMAl)在NH2和H混合覆盖AlN(0001)-Al面的吸附与扩散进行计算分析。通过分析表面吸附能、扩散能
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61474058)
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利用量子化学的密度泛函理论(DFT),对AlN的MOCVD生长中表面反应前体AlCH3(简称MMAl)在NH2和H混合覆盖AlN(0001)-Al面的吸附与扩散进行计算分析。通过分析表面吸附能、扩散能垒及Mulliken数量比例等,确定可能的稳定吸附结构和扩散路径。研究发现:在NH2与H混合覆盖的AlN(0001)-Al面,随着NH2与H的覆盖度变化,MMAl均稳定吸附在T4位和H3位,吸附概率相近。随着NH2比例增多、H比例减少,MMAl吸附后都向AlN表面转移电荷,同时其吸附变得相对容易,扩散变得逐渐
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