压电陶瓷补偿器在非轴对称光学表面加工中的应用

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金刚石车削非轴对称光学表面,要求车刀在轴向能作高速微位移运动。一般的位移驱动装置很难满足上述要求。本文用压电陶瓷补偿器作为刀具的微位驱动装置,实现了非轴对称光学表面的金刚石车削加工,并获得了满足的效果。
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