A Fully Differential Interface Circuit of Closed-loop Accelerometer with Force Feedback Linearizatio

来源 :哈尔滨工业大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Jiangzi1125

【摘要】

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In this paper,a fifth-order fully differential interface circuit( IC) is presented to improve the noise performance for micromechanical sigma-delta( Σ-Δ) acce

【作者】

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Hong-Lin Xu Hong-Na Liu Chong

【机构】

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Micro-ElectromechanicalSystemCenter,KeyLaboratoryofMicro-SystemsandMicro-StructuresManufacturing

【出处】

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哈尔滨工业大学学报：英文版

【发表日期】

：

2014年3期

【基金项目】

：

Sponsored by the National Natural Science Foundation of China（Grant No.61204121）,the National Hi-Tech Research and Development Program of China（Grant No.2013AA041107）

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In this paper,a fifth-order fully differential interface circuit( IC) is presented to improve the noise performance for micromechanical sigma-delta( Σ-Δ) accelerometer. A lead compensator is adopted to ensure the stability of the closed-loop high-order sy

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