【摘 要】
:
用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学气相沉积法,在低温条件下,在(001)GaAs衬底上异质外延,生长立方晶GaN薄膜。
【机 构】
:
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家863资助
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用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学气相沉积法,在低温条件下,在(001)GaAs衬底上异质外延,生长立方晶GaN薄膜。
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