带后加速离子注入机的物理图象和参数关系

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在四电极系统中在一定束能量下改变电场强度比仅轻微地改变束电流。在一定电场 强度比下可以用五电极系统在一定范围内改变束电流或束能量。使引出孔的分布补偿束 电流密度的高斯分布。使参数匹配并实行程序控制。 Changing the electric field intensity with a certain beam energy in a four-electrode system slightly changes the beam current. Under certain electric field intensity ratio, the five-electrode system can be used to change the beam current or beam energy within a certain range. The distribution of the exit holes compensates for the Gaussian distribution of the beam current density. Match parameters and implement program control.
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