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介绍了部分耗尽SOI MOSFET中的浮体效应;简要描述了浮体效应的物理机制、测试结果,以及减小浮体效应的方法;同时,给出了在有体接触的情况下出现kink效应的测试结果.
部分耗尽SOI MOSFET中的浮体效应
【摘 要】
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介绍了部分耗尽SOI MOSFET中的浮体效应;简要描述了浮体效应的物理机制、测试结果,以及减小浮体效应的方法;同时,给出了在有体接触的情况下出现kink效应的测试结果.
【机 构】
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无锡微电子科研中心IC工艺实验室
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2005年6期
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