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期刊论文
样品高度对XPS测试的影响
样品高度对XPS测试的影响
来源 :分析测试技术与仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laijiren_ruby1
【摘 要】
:
采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该
【作 者】
:
章小余
赵志娟
刘芬
【机 构】
:
中国科学院化学研究所
【出 处】
:
分析测试技术与仪器
【发表日期】
:
2013年4期
【关键词】
:
样品高度
Al靶微聚焦单色器
X射线光电子能谱
sample height
microfocusing monochromatic Al target
X-r
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采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点.
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