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本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析，导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系，给出一些典型参数时的电场强度分布图，提出了腔体高度可调的必要性，为该种形式源的优化设计提供了理论依据。
大面积均匀微波等离子体源的电磁场计算及优化设计
【摘 要】
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本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析，导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系，给出一些典型参数时的电场强度分布图，提出了腔体高度
【机 构】
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中国科学技术大学四系
【出 处】
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微波学报
【发表日期】
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1998年2期
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