微波等离子体源相关论文
微波等离子体化学气相沉积是制备高质量金刚石膜的一个理想的方法。本文利用具有强化电磁场分布的压缩波导结构，设计了一套微波......
微波等离子体的一个重要发展是电子回旋共振(ECR)放电,本文介绍ECR放电技术的现状和报告一种新型ECR等离子体源—横磁瓶ECR等离子......
本文介绍了在几ＭＨｚ到几ＧＨｚ（微波频率）的频率范围内高功率射频技术应用的几个例子。所有例子都涉及到在用于许多重要的技术工艺时非聚变等离......
我们描述一各上简单的为等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜而建造的微波等离子体源。用700W 民用微波炉磁控管，把微波功率输进一......
有一个用作等离子体室的石英管的２．４５ＧＨｚ窄缝天线微波等离子体源已用于从远距离等离子体中的玻璃基体去除有机润滑剂，有选择地用一个无距离......
对微波等离子体源和常规等离子体源进行了对比，分析了微波等离子体源应用于离子氮化的优越性，报道了微波等离子体在钢表面氮化中的应......
介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法.根据等效电路，推导出平面螺旋电感线圈的品质因数，并进......
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该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝......
本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析，导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系，给出一些......
设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用低功率冷测和大功率热测实验对比了其性能。结果表明,导电氧化的加工件......
