介质阻挡放电串联微波放电的研究

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本研究构建了一种介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)与微波放电(microwave discharge,MWD)相结合的串联放电系统,并采用发射光谱诊断的方法对等离子体进行了分析.结果 表明,随着DBD放电电压的升高,MWD所需工作气体击穿功率和等离子体的维持功率显著降低,并且微波等离子体中Ar的激发增强.通过DBD和MWD相结合的串联放电,DBD可以给MWD提供更容易放电的激发态粒子,降低了整体放电所需能量,该系统作为化学反应器时可以有效地提高放电系统的能量利用率.
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