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利用高能量(〉15keV)、脉冲氮离子束增强沉积(IBED)Fe-N磁性薄膜。合成了含有α-Fe、α″-Fe16N2、γ'-Fe4N和ε-Fe2 ̄3N相的纳米多晶薄膜。Fe-N薄膜的磁性取决于膜层的相结构及微观形貌。纳米尺度的α″-Fe16N2和α-Fe相的混合物膜层的饱和磁性强度可达245emu/g。多元IBED Fe-Co-N合金薄膜与相同制备条件下合成的Fe-N薄膜相比,其相结构相似,但饱和