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首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中，消除了因直接调制激光波长引起的光强度化对测量的影响，降低了测量误差。
光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差
【摘 要】
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首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中，消除了因直接调制激光波长引起的光强度化对测量的影响，降低了测量误差。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所!上
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1999年6期
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