【摘 要】
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<正> 随着现代科学技术的迅速发展,电子元件和精密器件的制作已到了微米级的精度,微小尘埃粒子对产品性能的影响日趋严重。集成电路所用硅片面积越来越大,被沾污上尘埃粒子的
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<正> 随着现代科学技术的迅速发展,电子元件和精密器件的制作已到了微米级的精度,微小尘埃粒子对产品性能的影响日趋严重。集成电路所用硅片面积越来越大,被沾污上尘埃粒子的机会也就随着增多。只有进一步提高生产环境的空气洁净度,才有可能使大硅片上沾污控制粒径以上的尘埃粒子的数量减少。在实际生产环境中,操作人员是主要发尘源之一,为了防止或减少人体发尘沾污制品,必须穿抗静电洁净服(包括帽、鞋袜等)。
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