【摘 要】
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将暗场照明应用到线扫描成像中,提出了一种用于光学元件激光损伤的检测技术。该技术基于相位差分原理,只对引起相位变化的激光损伤区域有响应,因此检测图像具有高对比度。分
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室,中国科学院大学,
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将暗场照明应用到线扫描成像中,提出了一种用于光学元件激光损伤的检测技术。该技术基于相位差分原理,只对引起相位变化的激光损伤区域有响应,因此检测图像具有高对比度。分析了该技术的原理,并从实验上验证了该检测技术的特性。实验研究表明该技术能够获得高对比度和高分辨率的激光损伤图像,且具有快速检测大口径光学元件激光损伤的能力。
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