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多重拖动分子泵的原理,性能和应用
多重拖动分子泵的原理,性能和应用
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liumusi1314520
【摘 要】
:
介绍一种新颖拖动分子泵的工作原理、性能及其应用。该泵结构简单,抽气流量和入口压强比涡轮分子泵高100倍,抽速拉近涡轮分子泵,粘滞损耗比罗茨泵低得多。最后还讨论了新泵的发展趋
【作 者】
:
储继国
郑永
【机 构】
:
深圳大学物理系,合肥工业大学
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1999年A10期
【关键词】
:
多重拖动
分子泵
原理
性能
应用
涡轮泵
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介绍一种新颖拖动分子泵的工作原理、性能及其应用。该泵结构简单,抽气流量和入口压强比涡轮分子泵高100倍,抽速拉近涡轮分子泵,粘滞损耗比罗茨泵低得多。最后还讨论了新泵的发展趋势。
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