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随着半导体器件的飞速发展,半导体硅片的大直径是不可避免的,近2～3年片子直径正由3时向4时转变。面对着4时片子的日趋实用化,本文例举了单晶切翻、研磨技术的各种问题,进行了若干调查,同时也涉及了大直径加工设备。
单晶切割、研磨技术
【摘 要】
：
随着半导体器件的飞速发展,半导体硅片的大直径是不可避免的,近2～3年片子直径正由3时向4时转变。面对着4时片子的日趋实用化,本文例举了单晶切翻、研磨技术的各种问题,进行了
【出 处】
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半导体设备
【发表日期】
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1978年01期
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