Ar Pressure Dependence of the Properties of Molybdenum-doped ZnO Films Grown by RF Magnetron Sputter

来源 :材料科学技术学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuxiaohe19861111
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有高透明性和相对低的抵抗力的做铝的氧化锌(MZO ) 的透明进行氧化物电影被 RF (收音机频率) 准备磁控管在房间温度劈啪作响。在不同 Ar 压力下面扔的电影的结构、电、光的性质是当 Ar 压力增加,这些电影的性质沿着 c-axis.The 抵抗力与六角形的结构和比较喜欢的取向是多晶的模式表演增加的 investigated.XRD (X 光检查衍射) 。最低抵抗力完成了 is9.2X10~( 为与 30cm2 · V ~ 的霍尔活动性在 0.6 Pa 的 Ar 压力扔的样品的 -4)OMEG
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