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研究了150 keV Kr~+离子注入对聚酰亚胺(PI)导电性能的影响。发现 PI 样品注入 Kr~+离子后的室温电阻率比注入 Kr~+前降低约16个数量级。用范德堡法测量了193K至293K 温度范围内的电传导行为,对损伤层内的电传导机理进行了讨论。以150keV Kr~+轰击 Al/PI 双层薄膜系统。用背散射分析及误差函数拟合法对实验结果进行拟合计算,得到了 Al 在 PI 中的深度混合扩展量。