【摘 要】
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分子束外延能够生长原子平滑的层、精确控制层厚度及掺杂的灵活性使其较容易地合成多组分、多层的异质结.然而,在较高的掺杂浓度下,获得高迁移率(如
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分子束外延能够生长原子平滑的层、精确控制层厚度及掺杂的灵活性使其较容易地合成多组分、多层的异质结.然而,在较高的掺杂浓度下,获得高迁移率(如 )普遍认为是困难的,这就大大地限制了这些材料的应用. 1978年,Dingle等首先报道了在分子束外延中采用调
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