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通过将其他元素或原子基团掺入氢化非晶碳膜网结构中的方法,可以实现对α-C:H薄膜的改性,赋予α-C:H膜新的特性,从而满足某些特殊应用的需要,用含胺基的碳氢化合物正丁胺作为碳源,用等离子体增强化学气相沉积方法制备α-C:H膜.薄膜的红外光分析表明胺基团已掺入薄膜的网络结构中,喇曼光谱分析表明薄膜具有无序态碳、三配位碳和四配位碳原子的混合结构,但主要成份为无序态碳,将掺胺的α-C:H薄膜作为质量传