Cl对Si3N4粉中α/β相含量的影响

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本文研究了用SiCl4氨解法制备Si3N4粉时,要得到高α相的Si3N4粉的关键,在于必须使系统中杂质氯含量足够低,研究结果表明,在高纯N2气气氛中制粉,由于系统中氯含量较高,促使粉料中β相含量增高,α相含量降低。而在NH3气气氛中制粉,由于不断流动的NH3气,在高温下能携带出残留在粉料中的杂质NH4Cl,从而使粉料中的氯含量〈0.01%,这时制得的粉料,其α相的含量均在97%以上。
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