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研磨加工过程中引入的亚表面损伤直接降低了光学零件的强度、长期稳定性、成像质量、镀膜质量和抗激光损伤阂值等重要性能指标，对其进行准确检测和全面表征是提高光学加工质量和加工效率的前提条件之一．为此，利用名义深度、最大深度和损伤密度沿深度分布3个表征参数对亚表面损伤进行全面的表征，并建立了上述参数的理论预测模型；使用磁流变斜面抛光测试技术结合图像处理方法测量了K9玻璃在不同研磨条件下的亚表面损伤，对理论模型进行验证．研究表明：上述3个表征参数能够对研磨亚表面损伤进行全面、定量和准确的描述；建立的理论预测模型实现