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利用磁控溅射设备和光刻技术，采用金属等离子体氧化法，设计制作了10μm×15μm的Co／Al2O3／FeNi磁隧道结，并在77K下对其输运特性进行了研究。测得了11％的隧道磁电阻。随着外加电压增加，隧道结的磁电阻单调减小。测量了样品的I-V特性曲线，发现随着外加电压的增加，曲线逐渐偏离线性，电阻变小，这与理论相符合。电阻随温度变化曲线表明电阻随温度升高而减小，而且在210K处有一个拐点。表现出典型的隧穿过程的特征。