化学气相沉积钨涂层及抗烧蚀性能研究

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【摘要】

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利用X射线荧光能谱仪、扫描电镜及其能谱仪和显微硬度计等方法对CVD法制备的钨涂层进行了成分、显微组织分析,并测试了其显微硬度以及抗烧蚀性能.研究结果表明,采用化学气相

【作者】

：

张昭林李忠盛何庆兵易同斌

【机构】

：

中国兵器工业第59研究所

【出处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

化学气相沉积钨涂层抗烧蚀

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利用X射线荧光能谱仪、扫描电镜及其能谱仪和显微硬度计等方法对CVD法制备的钨涂层进行了成分、显微组织分析,并测试了其显微硬度以及抗烧蚀性能.研究结果表明,采用化学气相沉积法,能在炮钢基体上制备致密均匀的高纯钨涂层,其纯度大于99.9%,并且钨涂层具有典型的柱状晶体结构,同时具有良好的抗烧蚀性能.

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