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对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算，并举大量数据，指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径。
圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析
【摘 要】
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对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算，并举大量数据，指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效
【机 构】
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西安理工大学应用物理系,西安理工大学微电子系
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1997年4期
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