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按比例缩小技术是驱动集成电路发展的一项关键技术,在进入微纳米后出现了一系列的挑战.文中分析了按比例缩小在光刻技术、器件的亚阈特性、互连延迟以及功耗等方面面临的一些问题,同时从工艺、器件、电路、设计等方面提出一些相应的解决方法.
按比例缩小技术在微纳米中的挑战和对策
【摘 要】
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按比例缩小技术是驱动集成电路发展的一项关键技术,在进入微纳米后出现了一系列的挑战.文中分析了按比例缩小在光刻技术、器件的亚阈特性、互连延迟以及功耗等方面面临的一些
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2003年4期
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