论文部分内容阅读
在微电子机械系统技术飞速发展的今天,由于ＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ-Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ-Ｓｙｓｔｅｍ)器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,ＭＥＭＳ研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对ＭＥＭＳ研究非常重视,在政府的...
应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展
【摘 要】
：
在微电子机械系统技术飞速发展的今天,由于ＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ-Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ-Ｓｙｓｔｅｍ)器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,ＭＥＭＳ研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对ＭＥＭＳ研究非常重
【机 构】
：
哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
1999年5期
其他文献
目的：探讨对中心供氧终端氧气插孔消毒的必要性。方法：分别对急诊科观察室、呼吸科、心内科、神经科中心供氧终端氧气插孔采集样本150份，分为消毒前、消毒后结果进行对比分析。
随着科学的发展，社会的进步，人民群众的法制观念日益增强，利用法律武器保护自己的正当权益已逐渐成为人们的常识；而与之相比，护士还没有充分认识到护理工作中的每个环节都存在着法
“无瘤操作”是指应用各种措施防止手术及诊疗操作过程中离散的癌细胞直接种植或播散。在肿瘤疾病的诊治过程中,“无瘤操作”越来越得到临床外科医师的重视。“无瘤操作”亦
目的：了解近年麻疹病例临床特征和流行病学特点。方法：对2007年2月至2008年5月收入院的165例麻疹病例资料进行回顾性分析。结果：165例患者中，成年人119例、占72．1％，发病高峰集中在3～5
惯性导航系统的空中对准一直是一个艰巨，复杂的环节，针对空投鱼雷内测记录系统中采用的捷联惯性导航系统提出了一种快速，简单，实用的捷联惯导初始对准方法。介绍了利用磁场值测量
目的：观察依那普利联合波依定治疗慢性肾功能衰竭高血压的疗效。方法：选用依那普利联合波依定对32例慢性肾功能衰竭高血压患者进行治疗,治疗前后进行相关指标比较。结果：经治疗
以模糊温度传感器为例，较为详细地介绍模糊传感器的具体实现方案。这对于从事模糊传感器的开发与研究有一定借鉴意义。
在工业生产过程中，常常需要对高温介质的流量进行计量，提出了耐高温椭圆齿轮流量计在进行高温介质的流量计量的三个主要影响因素。讨论了流量计转子材料的热膨胀性变化的修正及
利用分子束外延（ＭＢＥ）生长的高迁移率ＩｎＡｓ外延层成功制备了薄膜Ｈａｌｌ器件。这种Ｈａｌｌ器件具有灵敏度高，温度特性好等优点，室温下的体积灵敏度和电压相关的灵敏度分别为１１ｍＶ／ｍＡ．ｋＧｓ和４０ｍＶ／Ｖ．ｋＧｓ（灵敏度比相同掺杂的ＧａＡｓＨａｌｌ器件高５０％），在
介绍了用太阳能电池供电的光纤传感器系统及弱磁式电流传感器的原理，实现了绝缘了泄漏电流的在线监测。