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概述了利用低温等离子体技术制备的有机聚合物薄膜特性、主要合成方法及研究现状,简要讨论了等离子体聚合条件对薄膜结构和性质的影响;介绍了现代分析技术对聚合物薄膜结构的表征;阐述了近年来对低温等离子体聚合物薄膜的物理性质(包括表面性质、渗透性、电学和光学性质等)的研究新进展,并描述了其在工业生产上的一些应用.