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本文模拟了Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀的镀膜过程。通过对圆柱形镀膜室-偏压电场的模拟,讨论了在不同的偏压电场下粒子的运动特性、成分离析效应的影响因素、涂层成分均匀性的影响因素,模拟结果与实际的镀膜实验相符。
Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀沉积过程的模拟研究
【摘 要】
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本文模拟了Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀的镀膜过程。通过对圆柱形镀膜室-偏压电场的模拟,讨论了在不同的偏压电场下粒子的运动特性、成分离析效应的影响因素、涂层成分均匀性的
【机 构】
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东北大学材料与冶金学院,华晨宝马汽车有限公司涂装车间
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2007年5期
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