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Ti-Al-Zr靶材相关论文
Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀沉积过程的模拟研究
本文模拟了Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀的镀膜过程。通过对圆柱形镀膜室-偏压电场的模拟,讨论了在不同的偏压电场下粒子的运动特性、......
期刊
多弧离子镀
镀膜过程
Ti-Al-Zr靶材
成分
Cathodic arc ion plating
Deposition process
Target Ti-A
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