【摘 要】
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本文选取了几种具有代表性的衰减陶瓷作为研究对象.将原料粉体按照配方混合,通过干压与等静压结合的形式成型为坯体,再分别经过还原或惰性气氛下烧结成瓷,最后通过磨切加工制
【机 构】
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北京真空电子技术研究所,北京100015
【出 处】
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电子陶瓷、陶瓷—金属封接第十九届会议暨真空电子与专用金属材料分会2019年年会
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本文选取了几种具有代表性的衰减陶瓷作为研究对象.将原料粉体按照配方混合,通过干压与等静压结合的形式成型为坯体,再分别经过还原或惰性气氛下烧结成瓷,最后通过磨切加工制备出陶瓷衰减性能的测试样品.将这几种测试样品通过矢量网络分析仪分别在X波段下测试其介电常数和介电损耗,然后将这几种测试样品放人真空热处理炉中做升温热处理实验,将热处理后的试验样品再次进行衰减性能的测试.对比热处理前后陶瓷衰减性能的变化趋势,通过计算数据变化的变异系数来对比分析这几种衰减陶瓷样品的热稳定性.研究表明,氧化铝基一Ti02和氮化铝基一碳化硅衰减陶瓷的热稳定性表现优异.
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